檢查真空機組各部件是否正確接駁，閥門位置是否正確，確保電器控制系統、熱電偶、壓力表、溫度計等儀表工作正常。
　　啟動真空泵和控制系統，檢查真空機組及其控制系統是否工作正常，包括真空度和排氣量等指標。確認管道、接頭等無漏氣現象，電磁閥正常通電，可調節氧分壓器等處于啟動狀態。

　　啟動輔助泵，在主泵達到一定真空度后，開啟輔泵，以輔助主泵抽取空氣，提高真空度。真空機組在主泵和輔泵運行穩定后，逐步提高真空度，可能需要啟動罐泵以提供供氣源。

　　在啟動過程中，監測各項參數，如真空度、冷卻水流量、儀表顯示等，確保系統正常運行。真空機組啟動后，進行必要的運行時間，并定期進行維護和保養，以確保設備性能和壽命。
　　需要注意的是，具體的啟動順序可能因真空機組類型和制造商的指導而有所不同，因此建議遵循機組操作手冊的指示進行操作。